无溶剂反应釜清洗方案（无溶剂反应釜清洗方案怎么写）
来源：新闻中心 /
时间: 2024-12-08
半导体工艺废气电加热解决方案和其技术特点
掺杂工艺：热扩散与离子注入工艺产生的主要废气为含磷烷、砷烷的酸性废气。清洗工艺：酸、碱与有机溶剂的使用产生废气，清洗液种类根据去除对象的不同而变化。半导体废气处理技术与系统：废气通过分类密闭收集，分为酸性、碱性、有机、一般尾气等。处理系统包括本地（POU）与中央处理系统。
优点：适合于温度低、中高浓度的废气，能够有选择性地吸收硫化氢等废气，工艺流程简单，且不需外加蒸汽和外加其他热源。
吸附技术：利用活性炭、分子筛等吸附剂将 VOCs 吸附在固体表面，达到去除废气中 VOCs 的目的。燃烧技术：将 VOCs 和空气混合，引燃进行燃烧，将 VOCs 转化成 CO2 和水等无害物质。生物技术：采用生物降解方法，利用微生物将 VOCs 转化为无害物质，如 CO水和无机盐等。
上一篇: 百得高压清洗机（百得高压清洗机高压管）
下一篇: 白银吨桶清洗机多少钱（清洗桶设备）
